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ELGA 超純水儀是采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。ELGA 超純水儀所生產的超純水電阻率一般應大于10兆歐，10兆歐以上的水才叫超純水。超純水出水能達到18.25兆歐。
ELGA 超純水儀系統特點：
無顆粒性雜質：用以保護分析儀器內的微孔柱，PURELAB UHQ安裝0.05 μm過濾裝置。
細菌控制：確保產水細菌含量小于1CFU/ml，適用于生命科學的運用。
低TOC系統：采用特別選擇的過濾介質降低TOC指標，并利用短波長紫外線進一步降低TOC。另外，先進的空氣過濾器防止空氣中二氧化碳和氣態的有機物侵入水箱。
濾芯：即用式的濾芯綜合了去離子、吸附和過濾技術，并且更換簡便。
循環回流：超純水通過循環回流保持*水質，抑制微生物生長。
水質監測：運行過程中，水質監測儀連續監測溫度補償電導率，以MΩ.cm表示。
ELGA 超純水儀的純化技術 ：
反滲透技術(UHQ-II)：率的低壓反滲透膜作為系統預處理，去除水中離子、膠體和微生物。
吸附技術：利用高品質吸附介質濾芯去除分子量有機物。
去離子技術：核子級樹脂濾芯去除水中離子。
超微濾技術：超微濾濾芯進一步確保去除熱源、膠體、有機物、微生物、顆粒雜質。
紫外線殺菌技術：短波長的紫外線用于殺菌，破壞殘余的有機物、分裂有機組織、降低總有機碳含量。
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