手機版
化工儀器網手機版
化工儀器網小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
如何提高光學平臺系統的穩定性
隨著*的設備和工藝的發展，使納米量級的測量成為可能。例如，變相光學干涉儀測量物體的表面粗糙度，目前可以達到1納米的分辨率。在半導體領域，已生產出線寬在亞微米量級的集成電路，提出測量準確率小于50納米的精度要求。為了提高光學平臺系統的穩定性，我們可以從以下的幾個方面來著手。
1、將系統與振源隔離。
外界的振源來源很多，比如地面的自振，各種聲音等等。但是影響大的是各種低頻的振源，主要集中在10～100Hz頻率內。將系統與這些振源隔離可以有效的提高系統的穩定性。采用大阻尼的空氣彈簧支撐方式可以較好的將系統與振源隔離。
2、控制振動的作用。
將系統組裝成動態的剛性結構可以保證系統內部的相對穩定性，且可以降低在外界的影響下產生共振的幾率，提高系統的穩定性。
3、控制靜力矩的作用。
光學平臺的硬重比對于其共振頻率有著重要的影響。較高的硬重比可以提高平臺的共振頻率，從而降低其在外界影響下的振動。而且在外力作用下，具有較高硬重比的平臺可以在小的重量下產生小的變形，增加系統內部的剛性。內部采用蜂窩狀支撐結構的光學平臺可以充分的提高硬重比，達到提高系統性能的目的。
4、控制溫度變化。
隨著時間的延續，不規則溫度變化會造成漸漸的結構彎曲。減小溫度效應的關鍵在于控制環境減少溫度變化。例如，避免在平臺下放置散熱設備，隔絕熱源設備和硬件，如光源、火焰等。
免責聲明
- 凡本網注明“來源：化工儀器網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網”。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源（非化工儀器網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。
采購中心