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真空快速退火爐用于小零件等在真空狀態下的退火；爐罐密封性好，有效的避免了工件在退火處理中的表面氧化、生銹，提高了處理質量；
真空快速退火爐應用領域介紹：
- 離子注入/接觸退火；
- 快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氮化(RTN)；
- 可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環境下使用；
- SiAu, SiAl, SiMo合金化；
- 低介電材料；
- 晶體化，致密化；
- 太陽能電池片鍵合；
真空快速退火爐使用的注意事項有：
1. 爐子使用或長時間不用后，要在120℃左右烘烤1小時，在300℃左右烘烤2小時后使用，以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內的清潔。
2. 爐膛若采用石英管，當溫度高于1000℃時，石英管的高溫部分會出現不透明現象，這叫失透（又叫析晶性）是連熔石英管的一個固有缺陷，屬正常現象。
3. 冷爐使用時，由于爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過快，各溫度段的升
溫速率差別不易太大，設置升溫速率時應充分考慮所燒結材料的物理化學性質，以免出現噴料現象，污染爐管。
4. 定期檢查溫度控制系統的電器連接部分的接觸是否良好，應特別注意加熱元件的各連接點的連接是否緊固。
5. 爐子使用過一段時間后，若真空度降低，可分別更換不銹鋼法蘭盤之間的耐溫硅膠圈或重新安裝不銹鋼法蘭盤或更換修理真空系統，以提高系統的整體真空度。
6. 爐子在工作過程中，一般在300℃左右若控制偏差還不能消除，出現溫度顯示值與程序給定值不符或擺動過大，檢查參數“M5、P、t”設置是否。
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