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原子熒光光譜儀是較新型X射線熒光光譜儀，具有重現性好，測量速度快，靈敏度高的特點。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業樣品。無標半定量方法可以對各種形狀樣品定性分析，并能給出半定量結果，結果度對某些樣品可以接近定量水平，分析時間短。薄膜分析軟件FP-MULT1能作鍍層分析，薄膜分析。測量樣品的較大尺寸要求為直徑51毫米，高40毫米。
原子熒光光譜儀與原子吸收光譜儀的結構與所用的部件基本相同,差別在于:
①為避免激發輻射進人檢測器影響原子熒光信號的檢測,原子熒光光譜儀的檢測器與激發光束不在同一直線上,通常成直角配置;
②原子吸收光譜分析是測量入射輻射光強與透射輻射光強的比值,而原子熒光光譜分析是直接測量與交光激發光源強度成正比的原子熒光強度,為③獲得較大的輻照立體角,許多原子熒光光譜儀不用分光部件。
原子熒光光譜譜線相對簡單，元素間譜線重疊較少，所以原子熒光光譜儀的光路系統通常較為簡單，當采用蒸氣發生法時，只有能形成氫化物及形成原子蒸氣的元素進入原子化區，可以采用非色散系統，因此儀器的光學系統簡單、結構緊湊，易于實現商品化和小型化。
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