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美國*MKS流量計馬鞍山

來源:杭州琪佑商貿有限公司   2019年08月26日 07:42  

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美*機儀器MKSINSTRUMENTS成立于1961年,作為半導體零部件的,在氣體、真空儀器及制程控制應用等方面有技術到之處,美*機儀器MKSINSTRUMENTS起源于壓力測量和控制核心技術,延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應氣體發生器及真空技術,其廣泛地應用于各種半導體生產設備和過程中。美*機儀器MKSINSTRUMENTS在的主要有AMEC、NMC、SMIC、HYNIX等,針對300MM半導體市場;而美*機儀器MKSINSTRUMENTS的半導體設備零部件的研發和也主要針對300MM半導體工藝要求。同時,美*機儀器MKSINSTRUMENTS還在積極開發太陽能、環境工程和玻璃鍍膜等快速發展的市場。美*機儀器MKSINSTRUMENTS電源、測量、控制和復雜氣體相關的工藝監控技術等改善了設備的完率和成品率,了生產產量和性能,美*機儀器MKSINSTRUMENTS目前主要包括:壓力測量和控制系列的電容薄膜壓力傳感器、模擬和數字壓力控制儀器和閥等提供半導體工藝上、下游壓力控制設備;流量控制器測量和控制半導體工藝中各種高純度、高精度氣體流量;射頻、直流及脈沖等離子電源、匹配器及測試工具為半導體工業提供了的固態電源;ASTEXI系列提供諸如用于工藝腔清潔的ASTRON氟離子發生器,用于去膠工藝的R*EVOLUTION等離子源,用于CVD、ALD和清洗的SEMOZON氣態和LIQUOZON液態臭氧發生器;另外美*機儀器MKSINSTRUMENTS還提供廣泛的真空、氣體分析儀、靜電控制、控制及信息技術等系列。
 

 

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