1)輪廓儀法  

輪廓儀法又稱角出針法,它是采用試樣涂前屏蔽或涂后溶解的方式, 使基體某一部分除去涂層,在基體和涂層之間形成一個臺階。通過輪廓儀的探針運動來測量臺階的高度而得到涂層的厚度值。 該法可以測量較寬范圍的涂層厚度。 可測范圍從0.01 ~ 1000µm的各種涂層, 準確度為±10%以內 。

輪廓測厚儀有電子記錄針式儀和表面輪廓記錄儀兩種 。

2)光切法  

光切法又稱干涉顯微鏡法。其試樣的制作與輪廓儀測厚法相同,即造成一個基體和涂層的臺階, 利用多光束干涉顯微鏡對該臺階高度測量, 從而獲得涂層的厚度值。 該方法可測量2µm以下, 具有較高反射率的各種涂層厚度。

光切法測量涂層的厚度, 是通過干涉測量儀, 一個貼于試樣作平面基準板的透鏡, 當一束單色光在上述試樣上和透鏡之間來回反射時, 可觀察到在光學平面和試樣表面之間產生的干渉帶圖象,若將基準板相對子被測涂層表面稍微傾斜,則干渉帶的圖象以平行的光亮帶和暗帶交替出現, 當干渉帶在基體與涂層的臺階處時, 干渉帶的圖象會產生相對位移, 其位移量是試樣表面與光學平面位差的量, 所以, 通過帶測微目鏡和干渉顯微鏡觀察和測量干渉帶位移距高, 即可測出涂層的厚度值,,干渉顯微鏡的使用方法, 可參照儀器的使用說明書要求進行。