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掃描電子金屬顯微鏡 FlexSEM 1000

來源:北京品智創(chuàng)思精密儀器有限公司   2019年08月28日 09:28  

掃描電子金屬顯微鏡 FlexSEM 1000通過高靈敏度二次電子探測器,背散射探測器,低真空探測器(UVD*2),實現低加速電壓/低真空下高質量圖像觀察

掃描電子金屬顯微鏡 FlexSEM 1000詳細介紹

  • 緊湊型設計,分辨率為4 nm*1

  • 通過高靈敏度二次電子探測器,背散射探測器,低真空探測器(UVD*2),實現低加速電壓/低真空下高質量圖像觀察

  • 操作簡捷,即使新手也能拍出高質量的圖片

  • 導航功能「SEM MAP」,便于快速鎖定視野

  • 大窗口(30 mm2)SDD能譜系統(tǒng),便于快速分析元素成分*2

?掃描電子金屬顯微鏡 FlexSEM 1000技術規(guī)格

 

項目內容
分解能*34.0 nm @ 20 kV (SE:高真空模式)
15.0 nm @ 1 kV (SE:高真空模式)
5.0 nm @ 20 kV (BSE:低真空模式)
加速電壓0.3 kV ~ 20 kV
放大倍率6× ~ 300,000× (底片倍率)
16× ~ 800,000× (顯示倍率)
低真空模式真空范圍:6 ~ 100 Pa
電子槍預對中鎢燈絲
樣品臺3-軸自動馬達臺
X:0 ~ 40 mm, Y:0 ~ 50 mm, Z:5 ~ 15 mm
R:360°, T:-15° ~ +90°
大樣品尺寸直徑80 mm
大樣品高度40 mm
尺寸主機:450(W) x 640(D) x 670(H) mm
供電單元:450(W) x 640(D) x 450(H) mm
探測器選配
  • 高靈敏度低真空二次電子探測器(UVD)

  • 能量分散型X線探測器(EDS)

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