電感耦合等離子體發射光譜儀（ICP）是一種高度的分析技術，可檢測樣本中的微量物質。但這項技術極為復雜，必須由專家來完成，并使用需要定期校準和維護的精密設備。盡管ICP測試本身速度很快，但樣本制備難度大、時間長，且涉及危險物質。在許多情況下，XRF分析可作為ICP測試的理想替代，其可*取代ICP分析，也可以在ICP設備停止工作時作為后備儀器。

XRF的用途

XRF分析可檢測樣本中的絕大多數元素（從百分之幾到百萬分之幾）。它可以用于檢測元素周期表中鈉到鈾之間的元素，此外，還可測量固體、液體、粉末、糊狀物和薄膜。與ICP一樣，其測量時間也很快：從幾秒鐘到幾分鐘不等。

XRF的優勢

如果對ppm以下的范圍進行分析，則ICP是理想之選。但對于ppm及以上范圍，XRF具備多個優點：

• 無損測試。XRF測試不會在樣本表面留下痕跡（或以任何方式影響液體）。分析后的樣本可重新投入生產，以便進一步加工或運送至客戶。

• 樣本制備快速簡單。如要分析液體、糊狀物、粉末或顆粒，只需將其倒入樣本杯并放入分析儀中，而固體則可能需要切割成適合分析儀的尺寸。通常無需制備其他樣本，從而加快測量過程并降低污染幾率。

• 任何人都可以使用這款設備。運行XRF測試無需有經驗的實驗室技術人員。只要稍加培訓，任何人均可安全使用設備，并提供準確結果。

• 購置成本低。運行XRF光譜儀所需的耗材是樣本杯或樣本盒，如果測量非常輕的元素（如鈉），則可能還需要使用氦。除此之外，運行成本就是電費。

• 無需使用濕化學方法。因為使用XRF測試樣本無需購買、儲存和處理危險化學品。這可降低成本和員工所面臨的風險。

• 結果更具重現性。XRF分析所測量的樣本量大于ICP，因此其測量結果更有可能代表整個樣本。樣本制備量越少，測試過程中的污染幾率就越小。此外，由于測試簡單快捷，因此可輕松地復核結果。

如果分析ppm以上的鈉到鈾元素，則可考慮使用XRF替代ICP。

日立XRF光譜儀

日立XRF光譜儀不但易用耐用，還能應對高通量測試。此外，其還具有特點，只需將樣本放入分析儀并按下按鈕即可。分析儀能迅速顯示樣本中元素的簡單讀數。還能查看詳細的光譜，以便進行進一步分析。

另一個有助于提高度的功能是樣本旋轉器。在測量過程中，旋轉樣本，使x射線束能夠覆蓋樣本上更大的區域，從而針對樣本產生更具代表性的元素結果。