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通常情況下，氣體分析儀發生故障主要分為兩種情況：
量程和零點的頻繁變動導致線性誤差較大、氣體室受到污染。
量程和零點的頻繁變動導致線性誤差較大，主要原因在于煙氣在線監測系統儀表的供應商有很多，不同的供應商在設計氣體分析儀時會具有不同的特點，所以要想準確判斷故障發生的位置和原因比較困難。所以在排查時，要先確定氣體分析儀顯示面板是否提示故障報警，根據報警信息來確定故障發生的位置。
同時由于氣體分析儀設計原理主要是光學測量原理，所以還要對光源進行檢查，確定是否因其老化而引起的故障，但是要嚴格按照儀器說明書檢查，如果檢查結果表明光源過弱或者過強，就要及時更換光源。
排除這些原因之后，還要對檢測器進行檢查，確定其是否正常工作，但要注意檢測器的檢查比較困難，要求檢測人員的業務素質較好，所以必要時可以聯系廠家進行仔細的檢查。
其次，氣體室是否收到污染直接會影響到光學鏡面是否可以正常使用，如果預處理系統存在先天缺陷或者無法正常工作而導致灰塵、水汽進入氣體室，就會嚴重影響測量結果的科學性和準確性，要解決這個問題，先要用干凈的水對氣體室進行清洗，然后使用壓縮空氣進行吹干。
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