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X熒光光譜儀（XRF）由激發源（X射線管）和探測系統構成。
X射線管產生入射X射線（一次X射線），激發被測樣品。受激發的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統測量這些放射出來的二次X射線的能量及數量。然后，儀器軟件將探測系統所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量。
儀器采用美國新型的Si-pin探測器，電致冷而非液氮制冷，體積小、數據分析準確且維護成本低。采用自主研發的SES信號處理系統，有效提高測量的靈敏度，讓測量更。一鍵式自動測試，使用更簡單，更方便，更人性化。八種光路校正準直系統，根據不同樣品自動切換。 多重防輻射泄露設計。先進的一體化散熱設計，使整機散熱性能得到極大提高，保證了核心部件的運行安全。*的機芯溫控技術，保證X射線源的安全可靠運行，有效延長其使用壽命，降低使用成本。多重儀器配件保護系統，并可通過軟件進行全程監控,讓儀器工作更穩定、更安全。ROHS測試軟件，標準視窗設計，界面友好，操作方便。
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