立式管式爐爐體結構
1.采用高純氧化鋁作為爐膛材料,減小能量損失。
2.爐管采用單端封口設計,頂端安裝有不銹鋼金屬法蘭,實驗可在真空和氣氛條件下完成。
操作方式
針對實驗室的使用要求,裝卸料采用間歇式手動裝、卸料。裝料時將料盒放置在料盆支架上,打開并取出爐管一端的密封端蓋,放入帶料盒的料盒支架,再將密封端蓋安裝在爐管法蘭上并擰緊卡箍螺栓。然后通入工藝氣氛,直到爐管內氧含量達到工藝要求時進行升溫燒結。產品燒結工藝完成后,應繼續通人小量的工藝氣氛并進行降溫,直到爐內溫度低于工藝要求時,方可打開爐管密封端蓋取出產品。
立式管式爐的氣體流量控制系統。通過浮子或質量流量控制器調節進氣量,以滿足用戶在不同反應氣氛或保護氣氛條件下的實驗要求。
組成的CVD系統主要應用在新型材料測試,氧化鋅納米結構的可控生長、熒光粉材料、金屬材料、半導體材料、陶瓷材料、電化學、薄膜材料、石墨烯、碳納米管、納米線等領域。產品外觀美觀,使用方便。
適用范圍:
立式管式氣氛爐主要應用于院校實驗室、工礦企業實驗室,應用于高、中、低溫CVD工藝,如碳納米管的研制,晶體硅基板鍍膜,金屬材料擴散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。
免責聲明
- 凡本網注明“來源:化工儀器網”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明“來源:化工儀器網”。違反上述聲明者,本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源(非化工儀器網)的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時,必須保留本網注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題,請在作品發表之日起一周內與本網聯系,否則視為放棄相關權利。