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海德漢敞開式直線光柵尺使用說明

來源:上海圓馨能源科技有限公司   2019年11月12日 15:23  

海德漢敞開式直線光柵尺使用說明

敞開式直線光柵尺設計用于對測量精度要求*的機床和系統(tǒng)。

典型應用包括:

  • 半導體業(yè)的測量和生產(chǎn)設備
  • PCB電路板組裝機
  • 超高精度機床
  • 高精度機床
  • 測量機和比較儀,測量顯微鏡和其它精密測量設備
  • 直驅(qū)電機

式編碼器

系列說明
LICLIC敞開式直線光柵尺能夠?qū)π谐踢_28 m和高速運動進行位置測量。其尺寸和安裝方式與LIDA 400相同。

輸出位置值的編碼器

系列說明
LIP 200LIP 211和LIP 291增量式直線光柵尺輸出位置值的位置信息。正弦掃描信號在讀數(shù)頭中被高倍頻細分且其計數(shù)功能將細分的信號轉(zhuǎn)換成位置值。與所有增量式編碼器一樣,借助參考點確定原點。

增量式編碼器

系列說明
LIP

超高精度

LIP敞開式直線光柵尺擁有極小的測量步距,*的精度和重復精度。掃描方式為干涉掃描,測量基準為DIADUR相位光柵。

LIF

高精度

LIF敞開式直線光柵尺的測量基準是SUPRADUR工藝制造的玻璃基體光柵,采用干涉掃描方法。特點是精度高和重復精度高,安裝特別簡單,有限位開關(guān)和回零軌。特殊型號的LIF 481 V可用于10–7 bar的真空環(huán)境中(參見其單獨“產(chǎn)品信息”)。

LIDA

高速運動和大測量長度

LIDA敞開式直線光柵尺特別適合運動速度達10 m/s的高速運動應用,支持多種安裝方式,安裝特別簡單。根據(jù)相應應用要求,METALLUR光柵的基體可為鋼帶,玻璃或玻璃陶瓷。也有限位開關(guān)。

PP

二維坐標測量

PP二維編碼器的測量基準是平面DIADUR工藝制造的相位光柵,采用干涉掃描方法。用于測量平面中位置。

LIP/LIF

高真空和超高真空技術(shù)

我們的標準編碼器適用于低真空或中等真空應用。高真空或超高真空應用的光柵尺需要滿足一些特殊要求。采用的設計和材質(zhì)必須滿足應用要求。更多信息,參見“真空中應用的直線光柵尺”產(chǎn)品信息。

以下敞開式直線光柵尺于高真空或超高真空應用環(huán)境。

• 高真空:LIP 481 V和LIF 481 V
• 超高真空:LIP 481 U

海德漢敞開式直線光柵尺的全新信號處理ASIC芯片

海德漢敞開式直線光柵尺是*精度定位或高準確性運動的理想選擇。為確保光柵尺在整個生命周期中都滿足高精度要求,海德漢開發(fā)了全新ASIC信號處理芯片:HSP 1.0。有關(guān)該芯片如何接近地補償信號變化和恢復初的信號質(zhì)量,請看視頻。


海德漢敞開式直線光柵尺使用說明

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