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ICP光譜儀以光電倍增管等光探測器測量譜線不同波長位置強度的裝置。它由一個入射狹縫，一個色散系統，一個成像系統和一個或多個出射狹縫組成。以色散元件將輻射源的電磁輻射分離出所需要的波長或波長區域，并在選定的波長上(或掃描某一波段)進行強度測定。
ICP光譜儀均用氬氣作為工作氣體，其原因有兩個：
一、氬ICP光源有良好的分析性能，分析靈敏度高且光譜背景較低；
二是用氬作等離子體易于形成穩定ICP，所需的高頻功率也較低。
在ICP光譜技術發展過程中，曾多次探討用分子氣體（氮氣，空氣，氧氣，氬-氮混合氣）代替氬氣作工作氣體。分子氣體雖然在較高功率下也能形成等離子體焰炬，所形成的等離子體激發溫度也較氬等離子體低。工作氣體的電阻率，熱熔及熱導率等物理性質是影響形成穩定等離子體的另一個重要原因。氬的電阻率，熱熔和熱導率都是低的。低的熱導率可降低由于熱導散熱而造成的能量損失；提高等離子體的熱效率，熱導率的高低對于形成穩定等離子體極為重要。據試驗表明，當外管氣流量為5L/min氬氣時，石英矩管熱傳導分別損耗總能量的60%，43%及20%。由于前述的原因，氬氣較易形成穩定的ICP。
ICP光譜儀負載終端采用全自動匹配技術，具有匹配速度快、精度高等優點，適合油品等復雜基體直接進樣;確保了輸出功率大限度的加到了負載上面，提高電源的使用效率，從而提高儀器的穩定性，并使得整個點火過程方便簡單。
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