激光誘導擊穿光譜（Laser-Induced Breakdown Spectroscopy，簡稱LIBS) ，是利用高能的激光束作用于樣品表面，使樣品表面蒸發、汽化、電離，形成等離子體，通過等離子體的發射光譜來對物質進行定量和定性分析的技術。

 

LIBS基本原理：

脈沖激光束經透鏡會聚后輻照在固體靶的表面，激光傳遞給靶材的能量大于熱擴散和熱輻射帶來的能量損失，能量在靶表面聚集，當能量密度超過靶材的電離閾值時，即可在靶材表面形成等離子體，具體表現為強烈的火花，并伴隨有響聲。激光誘導的等離子體溫度很高，通常在10000K以上，等離子體中含有大量激發態的原子、單重和多重電離的離子以及自由電子，處于激發態的原子和離子從高能態躍遷到低能態，并發射出具有特定波長的光輻射，用高靈敏度的光譜儀對這些光輻射進行探測和光譜分析分析，就可以得到被測樣品的成分、含量等信息。通常經過聚焦后的激光功率密度達到GW/cm2量級，光斑處物質蒸發、氣化和原子化后電離，形成高溫、高壓和高電子密度的等離子體。

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