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原子力顯微鏡（atomic force microscope，簡稱AFM）利用微懸臂感受和放大懸臂上尖細(xì)探針與受測樣品原子之間的作用力，從而達(dá)到檢測的目的，具有原子級(jí)的分辨率。由于原子力顯微鏡既可以觀察導(dǎo)體，也可以觀察非導(dǎo)體，從而彌補(bǔ)了掃描隧道顯微鏡的不足。原子力顯微鏡是由IBM公司蘇黎世研究中心的格爾德·賓寧與斯坦福大學(xué)的Calvin Quate于一九八五年所發(fā)明的，其目的是為了使非導(dǎo)體也可以采用類似掃描探針顯微鏡（SPM）的觀測方法。原子力顯微鏡（AFM）與掃描隧道顯微鏡（STM）大的差別在于并非利用電子隧穿效應(yīng)，而是檢測原子之間的接觸，原子鍵合，范德瓦耳斯力或卡西米爾效應(yīng)等來呈現(xiàn)樣品的表面特性。
原子力顯微鏡特點(diǎn)
◆ 激光檢測頭和樣品掃描臺(tái)集成一體，穩(wěn)定可靠；
◆ 精密激光及探針定位裝置，更換探針及調(diào)節(jié)光斑簡單方便；
◆ 單軸驅(qū)動(dòng)樣品自動(dòng)垂直接近探針，準(zhǔn)確定位掃描區(qū)域，使針尖垂直于樣品掃描；
◆ 馬達(dá)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測的智能進(jìn)針方式，保護(hù)探針及樣品；
◆ 高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，可根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇；
◆ 10X復(fù)消色差物鏡光學(xué)定位，無需調(diào)焦，實(shí)時(shí)觀測
原子力顯微鏡特點(diǎn)
◆ 激光檢測頭和樣品掃描臺(tái)集成一體，穩(wěn)定可靠；
◆ 精密激光及探針定位裝置，更換探針及調(diào)節(jié)光斑簡單方便；
◆ 單軸驅(qū)動(dòng)樣品自動(dòng)垂直接近探針，準(zhǔn)確定位掃描區(qū)域，使針尖垂直于樣品掃描；
◆ 馬達(dá)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測的智能進(jìn)針方式，保護(hù)探針及樣品；
◆ 高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，可根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇；
◆ 10X復(fù)消色差物鏡光學(xué)定位，無需調(diào)焦，實(shí)時(shí)觀測
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