X射線熒光光譜儀(X-rayFluorescenceSpectrometer,簡稱:XRF光譜儀),是一種快速的、非破壞式的物質(zhì)測量方法。X射線熒光(X-rayfluorescence,XRF)是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時激發(fā)出的次級X射線。
XRF用X光或其他激發(fā)源照射待分析樣品,樣品中的元素內(nèi)層電子被擊出后,造成核外電子的躍遷,在被激發(fā)的電子返回基態(tài)的時候,會放射出特征X光;不同的元素會放射出各自的特征X光,具有不同的能量或波長特性。
不同元素發(fā)出的特征X射線熒光能量和波長各不相同,因此通過對其的能量或者波長的測量即可知道它是何種元素發(fā)出的,進行元素的定性分析。射線強度與相應元素在樣品中的含量有關(guān),因此通過測試其強度實現(xiàn)元素的定量分析。
檢測器(Detector)接受這些X光,儀器軟件系統(tǒng)將其轉(zhuǎn)為對應的信號。這一現(xiàn)象廣泛用于元素分析和化學分析,在某種程度上與原子吸收光譜儀實現(xiàn)互補。
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