背景 

通過常規(guī)的沖孔和沖壓加工零件可能會(huì)在樣品表面殘留渣滓，因?yàn)樵撨^程通常會(huì)在沖頭側(cè)產(chǎn)生光滑表面的剪切下垂和在模具側(cè)產(chǎn)生鋸齒表面的毛刺。如果工件較厚或材料（如不銹鋼或鈦）難以加工，這將使后續(xù)加工變得困難。此外，沖孔和沖壓加工的速度和精度數(shù)十年來沒有大的提升。由于這些問題的存在，越來越多的廠家開始使用激光切割工藝。激光切割有如下優(yōu)勢(shì)，它能應(yīng)對(duì)多種材質(zhì)，且加工精度高。然而，雖然激光切割不會(huì)產(chǎn)生剪切下垂或毛刺，但激光的熱量有時(shí)會(huì)導(dǎo)致余料在工件表面熔化并粘附在表面。雖然可以使用輔助氣體去除余料，但有時(shí)部分余料會(huì)再次凝固粘附，成為殘余的“浮渣”。為了確保激光切割的準(zhǔn)確性和成品的質(zhì)量，必須仔細(xì)測(cè)量浮渣的數(shù)量和尺寸。（參考圖1和圖2）

來自O(shè)lympus的解決方案

奧林巴斯LEXT三維激光測(cè)量顯微鏡讓您能夠輕松進(jìn)行非接觸，高精度的三維測(cè)量，以評(píng)估浮渣的大小和形狀。顯微鏡高的傾角靈敏度使其能夠精確測(cè)量具有復(fù)雜幾何形狀和陡峭角度的浮渣。

產(chǎn)品特征

奧林巴斯LEXT能夠快速表征樣品的三維微觀形貌，進(jìn)行非接觸測(cè)量。該顯微鏡具有超高分辨率測(cè)量能力和高像素密度，以確保準(zhǔn)確性。LEXT高的傾角靈敏度是精確測(cè)量復(fù)雜形狀的微小浮渣和邊緣翹曲異物的*。

圖像

圖1: 工件入射激光側(cè)的高分辨率圖像及其測(cè)量輪廓線

圖 2: 工件輸出激光側(cè)的高分辨率圖像及顯示浮渣的相關(guān)測(cè)量

應(yīng)用所使用的產(chǎn)品

使用奧林巴斯 LEXT OLS5000 激光掃描共焦顯微鏡，能夠通過非接觸、非破壞的觀察方式輕松實(shí)現(xiàn) 3D 觀察和測(cè)量。僅需按下“Start（開始）”按鈕，用戶就能在亞微米級(jí)進(jìn)行精細(xì)的形貌測(cè)量。該產(chǎn)品不僅易于使用，更具備先進(jìn)功能，能夠提供四倍于上一代型號(hào)的采集速度。對(duì)于需要觀察大型樣品的客戶，LEXT 的長(zhǎng)工作距離物鏡和選配的擴(kuò)展機(jī)架使得系統(tǒng)能夠適用于大高度為 210mm 的樣品。