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LED和化合物半導體制造的新型真空泵

來源:東莞市隆創真空設備有限公司   2020年02月19日 10:21  

干泵技術包括羅茨泵、爪式泵和螺桿式技術,Edwards新型CXS真空泵等干泵設備的一個關鍵優勢就是它們不使用水或油來進行真空階段的密封或潤滑,因而這些設備的運行成本非常經濟,可讓用戶優化真空工藝,并大限度地降低總體擁有成本。

  干泵消除了工藝過程污染油或油搭載進入尾氣處理系統的風險,它們不會產生廢物、或者污染寶貴的溶劑、產品或環境。正因為這樣,與基于液體的水環泵、油封泵和蒸汽噴射系統相比,干泵設備除了能夠提高速度、工藝可重復性、靈活性和生產率之外,還能夠顯著節省運營成本、維護成本和安裝空間。

  易于使用的CXS泵系列采用的錐形螺桿技術,具有*的可靠性,而且安裝簡單、環保并提供更高的液態和固態物處理能力。

  *的螺桿技術能夠沿著轉子(rotor)提供平滑的漸進壓縮,從而在所有入口壓力下提供改進的熱量控制和抽空。此外,CXS泵的特點是具有*的溫度管理系統(temperature management system, TMS),將溫度保持在可控制的水平上,實現工藝性能的優化。

  創新的CXS泵設計包含了有助于實現出色性能的新穎壓縮和馬達技術,相比標準的馬達及整體驅動和控制系統,使用浸沒式空氣間隙封裝馬達(flooded air-gap potted motors),效率大大提高,從而降低總體擁有成本。

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