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總體來看，超低煙塵儀的煙塵濃度監測技術大致可以分為稱重法、放射性同位素法、光學法等三種。
1、超低煙塵儀稱重法：即通過稱量一定采樣體積內的粉塵質量而計算粉塵濃度的方法。
由于間斷性地從煙囪中抽取粉塵樣品，只能周期性測定，連續性差。這種方法的優點在于可以測量粉塵的質量濃度，而粉塵的化學成分、分散度和粒度形狀的變化對于測量精度沒有影響。
2、超低煙塵儀放射性同位素法：此法又分為透射法和散射法。
(1)β射線透射法
這種方法應用較廣泛。其原理是一束恒定強度的β射線穿過粉塵后，射線被粉塵吸收而衰減，射線強度的衰減量與粉塵質量呈現一函數關系，對一定采樣體積的粉塵，測出β射線的衰減量，即可測出粉塵濃度。
(2)β射線散射法
當β射線穿過含塵氣體時，粉塵粒子就會被激發產生軔制輻射，放射出低能γ射線，其γ射線的強度與粉塵的含量成正比。用計數管把γ射線強度轉換成電流或脈沖信號，再通過一系列信號處理，即可測出含塵氣體濃度。用這種原理制成的儀器可連續測量煙塵濃度，測量范圍從幾十毫克～十幾克/標米3，測量煙道直徑可達1.5米。
3、光學法：光學法可分為光吸收式和光散射式。
(1)光吸收式測塵法
恒定的光束通過含塵氣流時，光的強度由于塵粒的吸收而衰減，光強的變化與氣體的含塵濃度存在一函數關系。測出光強的衰減量，可測出煙塵濃度。
光學法測塵儀有單光束與雙光束之分。單光束法的光學系統比較簡單，要求電源穩定性好，價格比較便宜，不能自動校零和自動校正。雙光束法可克服上述缺點，但結構比較復雜，價格昂貴。.
(2)光散射式測塵法
強度恒定的光束穿過含塵氣流時，被粉塵阻擋而發生散射。散射光強度與粉塵濃度存在一函數關系，測出散射光強度。就可測出煙塵濃度。
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