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X射線熒光分析是一種物理分析方法， X射線熒光光譜儀分析速度快。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
X射線熒光光譜儀是由物質中的組成元素產生的特征輻射，通過側里和分析樣品產生的的產生與特性當用高能電子束照射樣品時，人射高能電子被樣品中的電子減速，這種帶電拉子的負的加速度會產生寬帶的連續X射線譜，簡稱為連續潛或韌致輻射。另一方面，化學元素受到高能光子或粒子的照射，如內層電子被激發，則當外層電子躍遷時，就會放射出特征X射線。
X射線熒光光譜儀主要由以下幾部分組成：激發系統，主要部件為X射線管，可以發出原級X射線（一次X射線），用于照射樣品激發熒光X射線；分光系統，對來自樣品待測元素發出的特征熒光X射線進行分辨（主要為分光晶體）；探測系統，對樣品待測元素的特征熒光X射線進行強度探測；儀器控制和數據處理系統，處理探測器信號，給出分析結果。
X射線熒光光譜儀的測試步驟：
（1）選擇分析方法與制樣方法。分析方法一般有基本參數法、半基本參數法、經驗系數法等，制樣方法一般有拋光法、壓片法、濾紙片法和熔片法，常用粉末壓片法制樣，采用基本參數法測試。
（2）將制備好的樣片裝進樣品杯，放入樣品交換器中，自動進樣至樣品室，X射線管發出原級X射線照射樣品，激發出待測元素的熒光X射線。
（3）樣品輻射出的熒光X射線通過分光晶體，將X射線熒光光譜色散成孤立的單色分析線，由探測器測量各譜線的強度，根據選用的分析方法換算成元素濃度，得到樣品中待測元素含量。
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