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微量氮氣體分析儀儀器采用高頻高壓電源電離氣體，產生正電荷離子和自由電子，形成等離子體環境，其中的N2分子被電離成原子。正電荷離子、自由點在電場的作用下分別加速移向負極、正極。由于碰撞，離子和電子將自身能量傳遞給原子，使得氣態原子被激發。原子被激發后，其外層電子發生能級躍遷，在返回基態時發射特征光譜。通過對特征光譜的檢測，分析出微量氮氣的濃度。
氣體成分在管道及設備中流動時發生的微觀變化是復雜的、多變的。在常量氣體成分分析時可以忽略的諸多影響因素，在微量氣體成分分析時不僅不能忽略，反而必須認真對待，此時，這些因素已經成為影響微量氣體成分分析正確結果的主要矛盾，必須逐一排除和解決才能使微量氣體分析儀器工作順利完成。這些影響因素主要包括以下幾個方面：
①取樣管路內氣體多次的反復混合；
②管壁與氣體成分的物理化學作用；
③管路材質；
④管路連接方式；
⑤管路潔凈程度。
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