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三維表面形貌測量儀可用于物體表面三維形貌和變形測量。由于該系統(tǒng)既可配備10倍變焦遠(yuǎn)距離顯微成像鏡頭，也可配備普通變焦鏡頭，使得該系統(tǒng)能同時滿足細(xì)觀及宏觀的測量要求。不僅可用于微電子、生物、微機(jī)械等微細(xì)結(jié)構(gòu)的形貌及變形測量，也可用于混凝土結(jié)構(gòu)、巖土試樣等大型構(gòu)件表面形貌和變形測量。系統(tǒng)配有的相移條紋圖像處理軟件，使得系統(tǒng)測量精度明顯提高，并且使用方便、操作簡單。
工作原理是光學(xué)小景深測量與精密垂直掃描相結(jié)合。光源所發(fā)出的光線經(jīng)過共軸的分光棱鏡和物鏡，聚焦照射到樣品表面上并發(fā)生反射，所反射光學(xué)信號經(jīng)由分光棱鏡被信號傳感器接收。通過連續(xù)的自動的垂直掃描技術(shù)以及先進(jìn)的圖像運算處理技術(shù)，獲得樣品完整的表面三維形貌。
三維表面形貌測量儀的應(yīng)用：
1、精密部件3D尺寸及段差測試；
2、精密點膠膠線截面、膠線寬度、膠線高度測試；
3、3D玻璃缺陷檢測；
4、半導(dǎo)體表面缺陷測試；
5、多層薄膜厚度測試。
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