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1、進樣系統 - 霧化器
(1)由于霧化器中心的毛細管口徑非常小，要求樣品要溶解的*，不得含有沉淀或漂浮物，如果有少量沉淀要用濾膜進行過濾，否則容易堵塞霧化器。
(2)在用普通進樣系統時，不得含有HF或氟化物，否則容易損壞矩管和霧化器，如果需要分析此類樣品。需更換耐HF進樣系統。
2、進樣系統 – 蠕動泵
蠕動泵部分主要是泵管長期受到擠壓和磨損容易消耗，所以當上機結束后要將泵夾松開以延長泵管的使用壽命。
3、離子源 – 矩管
(1)矩管是ICP-MS中比較容易積碳和積鹽的位置，如果發生堵塞，可以將堵塞部位浸入濃硝酸中煮沸。
(2)如果矩管的氣體連接管周圍變為黃褐色，這主要是有機物沉淀（氣體管路中的增塑劑在高溫下流失），對儀器性能沒有影響。可以將矩管放入馬弗爐中500℃烘烤幾小時，以去除這些褐色沉淀物。
4、接口 – 雙錐
(1)采樣錐和截取錐的清洗選用棉棒蘸超純水輕輕擦拭錐的正反兩面，再用超純水沖凈后晾干使用。注意清洗時控制力度，不能破壞錐孔。
(2)洗凈后檢查錐孔的形狀和大小，觀察圓形錐孔是否變形、是否光滑，同時注意錐孔尺寸大小，如果采樣錐孔徑超過1mm，截取錐孔徑超過0.4mm，則需要更換相應的錐。
5、冷卻水系統
(1)定期更換冷卻水，約每半年更換一次，同時滴加抑菌劑。
(2)每年檢查一次水接頭，防止漏水，必要時及時更換。
(3)定期清理水循環的散熱器，三年左右檢查制冷量。
6、機械泵
每個月都應該檢查機械泵油，以保證泵油液面處于大、小刻度線之間，而且泵油顏色正常、潔凈。如果泵油臟了，需要及時更換以保證儀器始終能維持良好的真空狀態。
7、氣路系統
(1)定期檢查外氣路，看是否有漏氣。
(2)定期檢查內氣路，看是否有漏氣。
(3)注意養成良好的用氣習慣：
開機前要確認氣瓶的壓力是否在正常范圍內，一般為0.6-0.8MPa。
增壓閥當上機結束后要及時關閉，以免造成泄壓。
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