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技術規格
技術參數 | 線性精度1 | ±（1.5+|0.2H|）μm |
圓弧2 | ±（2+R/8）μm | |
角度3 | ±2′ | |
直線度4 | 0.8μm/100mm | |
運動控制 | X軸驅動方式 | 電動 |
Z軸驅動方式 | 電動 | |
X軸驅動速度 | 0.1~10mm/s | |
Z軸驅動速度 | 0.5-10mm/s |
注：1、H為水平位置上的測量高度；2、2mm＜R＜10mm的標準球，取樣圓弧夾角為120°；3、60°、90°的角度塊，角邊取樣長度為5mm；4、λc為2.5mm，測量速度為≤0.3mm/s；5、2mm＜R＜10mm的標準球，取樣圓弧夾角為120°6、以上參數均在20℃±5℃，階梯溫度不超過2℃/h的環境下測得；7、地面震動大RMS
＜50HZ 2.5μm/s /＞50HZ 5.0μm/s。
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