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白光干涉儀是利用光學干涉原理研制開發的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經半反半透分光鏡分威兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現的位置解析出被測樣品的相對高度。
白光干涉儀該怎樣選購呢?
(1)精度。精度高的白光干涉儀是較好的白光干涉儀。為什么這么說呢?這么說并非說白光干涉儀的其他功用不重要，咱們都知道任何一款電子衡器其構成結構多大同小異的，而許多產品不同只是用材的差異性，并非技能型的差異性。但精度這個不是單獨用材就能夠處理的，它是一款白光干涉儀的規范，因而也決定其價格。
(2)靈敏度。針對大部分用戶來說，選購白光干涉儀批量的用戶大多是企業的收購方;而企業要用來進行大規模的稱重作業天然要以節省時刻為主。
(3)安穩性。一個白光干涉儀能夠不把安穩性放在位，那并不代表安穩性不重要，只能說先要滿足以上兩條，那么這個秤的安穩性才具有意義。一旦以上兩條都滿足了，那么安穩性也是舉足輕重的地位了。它們常常會使得稱重進程中減少了無數的煩惱，數據差錯，丈量成果也因而減少了累計差錯，然后防止了終演變秤稱重數據過錯。
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