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高靈敏度光譜儀的透射率或效率可以通過輔助單色儀進行測量，在可見光和近紫外光下實現這些測量沒有困難。測量需要知道單色儀的透射率：對于相對測量，可以以相對單位在各種波長下測量透射率。這些測量存在很大的實驗困難，因此通常使用輔助單色儀，在不同入射角下測量衍射光柵的效率。
高靈敏度光譜儀的分辨率是光譜分析儀的重要參數，光譜儀的分辨率直接影響儀器的性能。光譜儀的分辨率是指光譜儀的分辨率精度較低，即在測試時，我們可以知道光譜線的程度，那么影響光譜儀分辨率的主要因素是什么？
1.檢測器是光譜儀的核心部分，它直接確定光譜范圍，靈敏度，分辨率和信噪比。一般來說，探測器的材料決定其光譜范圍，而探測器的工作原理，制造方法和摻雜材料則決定其靈敏度，范圍和信噪比。
2.光柵將從狹縫入射的光分散在空間中，使得光強度成為波長的函數。它是光譜檢測的基礎，也是光譜儀的核心部分。對于給定的光學平臺和檢測器，我們可以通過選擇不同的光柵來控制光譜儀的光譜覆蓋范圍，光譜分辨率和雜散光水平。
3.高靈敏度光譜儀的分辨率和光通量直接受到入射狹縫的影響。光譜儀的檢測器終檢測到狹縫投射到檢測器上的圖像，因此，狹縫的大小直接影響光譜儀的分辨率。縫隙越小，分辨率越高，縫隙越大，分辨率越低。另外，狹縫是光進入光譜儀的通道，其大小也直接影響光譜儀的光通量。縫隙越大，光通量越大，并且縫隙越小，光通量越小。
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