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無塵烤箱配備HEPA過濾器，以保持爐腔無顆粒。 HEPA過濾器(高效微粒捕獲)現在是電子和平板顯示器潔凈室組裝的主要過濾系統，或任何需要減少或去除亞微米微粒的應用。 HEPA過濾器具有隨機定位的微玻璃纖維的深床，其中與平均纖維直徑和自由路徑橫截面的有效孔相比，總床深度(過濾器的厚度)非常大。
通過HEPA過濾器的氣體必須流過的通道不是直的，而是非常曲折的。隨著顆粒對纖維的影響并粘附在纖維上，通道變得更小并且過濾器的效率提高。無塵烤箱以及LCD行業的特殊輸送爐中使用這些過濾器。為了保護過濾器不會在烤箱中過熱，實施了用于過濾器的特殊保護系統。 HEPA過濾器在正常條件下保持其在烤箱中的效率一至數年。 HEPA不需要任何清潔或維護來保持這種效率。無塵烤箱用于半導體行業。
無塵烤箱特點
1、用于烘烤非光敏聚酰亞胺(PI)的清潔烤箱，在干凈的環境中處理集成的HEPA過濾器。溫度高達350°C 溫度。 氧氣可以保持<20ppm。可編程控制器。內部尺寸可自定義。
2、可以提供與PC的數據耦合，這允許長期數據存儲以及統計過程控制SPC，配方管理和過程可視化。
3、 強制送風循環方式，雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，從而得到高精度溫度控制。
4、可實現智能化生產要求。SECS / GEM是用于設備到主機數據通信的半導體設備接口協議。在自動化工廠中，接口可以啟動和停止設備處理，收集測量數據，更改變量并為產品選擇配方。
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