在高真空應用中，殘余氣體的存在可能會影響真空系統內部的表面污染，影響真空工藝的進行。今天與大家聊聊殘余氣體在真空系統中可能會產生的一些反應。

在真空系統和器件中，有多種因素可能引起殘余氣體之間發生反應與相互轉化：

首先，殘余氣體中的某些活性氣體分子在熱表面上離解成原子態。原子態的氣體化學活性較高，它們可能與電極材料及其雜質、污染物直接發生反應，也可能由于表面催化作用而與其他氣體發生反應。

其次，氣體分子由于電子碰撞而電離形成離子態。離子、電子在電場驅使下與各種表面（電極、管殼、器壁、吸氣劑等）相互作用并可能產生下述效應：俄歇電子或二次電子發射；氣體分子以離子、亞穩態粒子或中性粒子形式從表面反射；離子注入并不捕集與表面；被捕集的粒子自發再釋放或受熱再釋放；表面濺射；電子或離子誘導脫附甚至溶解。

第三是氣體在各種材料表面，尤其是電極表面，吸附并發生金屬的表面催化作用。

第四，氣體在吸氣劑表面上的吸附和發生化學反應。

第五，真空系統中零部件的熱出氣、冷吸氣、熱蒸發、熱分解；光子、電子轟擊使表面化合物金額沉積的雜質分解及吸附分子離解等。

上面這些反應作用都可以直接或間接的改變殘余氣體成分，有的造成物質遷移，其結果符合化學平衡的基本規律。

從高真空及超高真空的角度來看,真空系統內的殘余氣體是-個必須引起注意的問題,殘余氣體往往造成真空系統內部的表面污染,從而達不到真空工藝所要求的結果。

另外,對超高真空系統來說,殘余氣體的成分對系統的極限壓力往往產“生重要影響,如果抽氣系統或抽氣的工藝文匯選擇不當，殘余氣體是影響其工作性能及壽命的重要因素。在實際工作中,不但要降低電真空器件中殘余氣體的量(真空度) ,更要注意控制殘余氣體的質(氣體成分)。

因為電真空器件中殘余的02. C02. CO. H20及碳氫化合物等有害氣體,會引起電真空器件的陰極“中毒”、高壓放電擊穿等有害現象。

殘余氣體Ar可能會使電真空器件內產“生離子轟擊現象,從而損壞器件的陰極或其他部件。殘余氣體的量多還會引起電子管的噪聲塔高。真空系統中的殘余氣體成分是與真空系統的作業各類及工藝(如鍍膜.金屬熔煉等)和所用的抽氣系統的類型有關,大致可分為以下幾種情況:

在低真空下使用的真空裝置中，殘余氣體主要為空氣(O2 N2...）

在只用油封機械泵連續進行長時間抽氣的真空裝置中,當無泄漏時,殘余氣體中有:有機物及水蒸氣

在用油擴散泵抽氣的高真空裝置中,殘余氣體中主要有:有機物和水蒸氣。

使用濺射離子泵抽氣系統,但不對真空系統進行特別的烘烤脫氣處理時,則殘余氣體中水蒸氣多,另外還有H2 , CH4 , C0(或N2). C02等。