壓力傳感器是壓力變送器中將壓強轉換成電壓信號的關鍵器件。擴散硅式壓力變送器的敏感元件是擴散硅壓力傳感器,通常帶有不銹鋼隔離膜片將測量介質與硅片隔離開。其特點是輸出靈敏度較高,價格實惠。
擴散硅壓力變送器,廣泛應用于工業自動化設備、石油、化工、冶金、電力等控制平臺,它是利用壓阻效應原理,采用集成工藝技術經過摻雜、擴散,沿單晶硅片上的特點晶向,制成應變電阻,組成惠斯凳電橋,利用硅材料的彈性力學特性,在同一種硅材料上進行各向異性微加工,就制成了一個集力敏與力電轉換檢驗于一體的擴散硅傳感器。在使用過程中有哪些需要咱們注意的呢?
- 溫度補償,擴散硅式壓力傳感器是半導體,半導體具有很強的溫度特性,沒有溫度補償,測量誤差可能會比較大。
- 擴散硅式壓力傳感器傳感膜片只有幾十絲米厚,千萬不能觸碰。
- 供電電壓要穩定,傳感器里面實際就是一個電橋,供電電壓波動會引起橋路輸出變化,影響測量精度。
- 要在額定電壓內應用,過壓會導致傳感器損壞。
- 輸出端不要短路。
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