真空機組是將真空泵與相應的真空元件按其性能要求組合起來構成的抽氣裝置。其特點是結構緊湊,安裝使用方便。

　　真空抽氣機組可分為低真空抽氣機組、中真空抽氣機組、高真空抽氣機組、超高真空抽氣機組、無油真空抽氣機組等。真空機組的名稱以主泵命名。

　　低真空抽氣機組

　　低真空抽氣機組的主要特點是工作壓力高、排氣量大,但抽速比高真空抽氣機組低,多用于真空室的粗抽以及放氣量很大、工作壓力高的真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空干燥、真空脫氣(鋼水處理)等裝置中。

　　低真空抽氣機組的主泵常用往復式真空泵、油封式機械泵、干式機械泵、水噴射泵、水蒸氣噴射泵、水環泵、分子篩吸附泵、濕式羅茨泵等直排大氣真空泵,使用低真空抽氣機組,還需要根據被抽氣的清潔程度、濕度或其他特殊要求,配置必要的除塵器、水氣分離器、油水分離器、干燥阱等部件。

　　油封機械泵機組抽除可凝性氣體的措施

　　油封機械泵不適于抽除含有大量水蒸氣的氣體。水蒸氣在壓縮過程中會凝結成水滴,并與泵油混合形成懸浮液,破壞泵的抽氣性能使泵的真空度下降。一般采取的措施有:使用帶有氣鎮裝置的油封機械泵,并將泵的工作溫度控制在75~90℃之間,以減少氣鎮閥負擔在機組中安裝水汽分離器或油水分離裝置,處理混有水的機械泵油,處理過的油再進入泵中使用;用各種干燥吸附劑做成捕集阱吸收水蒸氣;使用各種冷凝器或冷阱,不僅能有效地吸附水蒸氣,同時還可以阻擋機械泵向真空室的返流。

　　中真空抽氣機組

　　中真空抽氣機組常用的主泵有油增壓泵、羅茨泵(機械增壓泵)等,適用于需要大抽速和獲得中真空的各種真空系統中,可廣泛用于鍍膜機、真空冶煉、真空熱處理、化工、醫藥、電工、焊接等行業。

　　高真空抽氣機組

　　高真空抽氣機組工作在分子流狀態下,與低真空抽氣機組相比,其特點是工作壓力較低(10-1~10-5Pa)、排氣量小、抽速大。機組的主泵通常為擴散泵、擴散增壓泵、分子泵、鈦升華泵、低溫冷凝泵善低入等。這些泵不能直接對大氣工作,因此需要配置粗抽泵和前級泵。有些高真空抽氣機組的擴散泵還配有前級維持泵或貯氣罐,以防止氣體壓力波動,改善機組的抽氣性能。

　　超高真空抽氣機組

　　超高真空抽氣機組工作在10-5~10-10Pa的超高真空壓力范圍內,除了要求真空室的材料出氣率很低、漏氣率很小、能經受200~450℃高溫烘烤外,對機組的要求還有:

　　(1)主泵的極限真空度高,至少在10-7~10-8Pa以上。

　　(2)在超高真空的工作壓力范圍內主泵應具有一定的抽速。

　　(3)機組的主泵或主泵進氣口以上部分能承受200~450℃的高溫烘烤。

　　(4)來自主泵的返流氣體(包括工作液蒸氣及解析的氣體)的分壓力足夠低。

　　(5)對被抽氣體選擇性強的主泵,要配備足夠大的輔助泵。

　　(6)機組主泵進氣口以上的管道、閥門等部件,對材料的選擇和密封要特別慎重。一般采用出氣率較低的不銹鋼和金屬密封材料,以耐高溫烘烤。

　　典型真空系統

　　真空系統按其工作壓力分類,可分為:(1)粗真空系統(工作壓力大于1330Pa);(2)低真空系統(工作壓力在1330~0.13Pa);(3)高真空系統(工作壓力在0.13~1.3×10-5Pa);(4)超高真空系統(工作壓力在1.3×10-5~1.3×10-10Pa);(5)*真空系統(工作壓力低于1.3×10-10Pa)

　　按真空系統所要求的清潔程度分,有:(1)有油真空系統(真空室有油蒸氣污染);(2)無油真空系統(真空室無油蒸氣污染)。