超純水初是美國科技界為了研制超純材料應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水,電阻率接近于18.3MΩ*cm。超純水無硬度,口感較甜,又常稱為軟水,可直接飲用,也可煮沸飲用。當前,在生物、醫藥、汽車等領域廣泛應用。超純水系統是指系統從原水至超純水完整產生的生產系統。其工藝流程如下所示:
1、預處理-反滲透-純化水箱-離子交換器-紫外燈-純水泵-用水點;
2、預處理-一級反滲透-二級反滲透(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點;
3、預處理-反滲透-中間水箱-中間水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點;
4、預處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點。
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