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當氣溶膠流暴露在準分子燈的UV輻射中，準分子燈提供高強度、窄帶UV輻射源，準分子燈有選擇的提供UV輻射的波長，因此僅吸附 PAHs的氣溶膠粒子才會被離子化，而氣體分子以及非碳氣溶膠不帶電。表面吸附有 PAHs分子的碳氣溶膠顆粒會發射電子，通過施加電場，所有帶負電荷的粒子全部被安全去除，其余的帶正電荷粒子被收集在法拉第罩內的過濾器上，在這里電荷被靜電計測量，產生的電流信號與顆粒吸附的PAHs濃度成比例關系。
應用領域：
1、環境空氣監測：
室外環境空氣監測：停車場、交通路口以及高速公路隧道等；
室內空氣質量監測（家庭、辦公室等）：煤油取暖器、壁爐以及香煙煙霧等；
產生PAHs的工業車間環境監測；
特殊情況下產生的PAHs監測：森林火災、廢舊汽車輪胎燃燒、農業燃燒。
2、工業污染源排放監測：
燃燒器、煉油廠加熱爐、工業鍋爐、熔爐；
市政排放、醫用廢棄物焚化爐；
柴油、汽油車排放；
工業過程排放：煉焦爐、石油催化裂化加工、鋼鐵鑄造、鋁及炭黑制造。
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