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實驗原理：
納米壓痕儀技術又稱深度敏感壓痕技術，它經過核算機控制載荷連續變化，并在線監測壓入深度。-一個完好的壓痕進程包含兩個進程，即所謂的加載進程與卸載進程。在加載進程中，給壓頭施加外載荷，使之壓入樣品外表，跟著載荷的增大，壓頭壓入樣品的深度也隨之增加，當載荷抵達zui大值時，移除外載，樣品外表會存在殘留的壓痕痕跡。
隨著實驗載荷的不斷增大，位移不斷增加，當載荷抵達zui大值時，位移亦抵達zui大值即zui大壓痕深度maxh；隨后卸載，位移zui終回到一固定值，此刻的深度叫殘留壓痕深度rh，也便是壓頭在樣品上留下的永jiu塑性變形。
納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試，測試結果通過力與壓入深度的曲線計算得出，無需通過顯微鏡觀察壓痕面積。
納米壓痕儀主要用于測量納米尺度的硬度與彈性模量，可以用于研究或測試薄膜等納米材料的接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、應力-應變曲線、疲勞、存儲模量及損耗模量等特性。可適用于有機或無機、軟質或硬質材料的檢測分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學薄膜，微電子鍍膜，保護性薄膜，裝飾性薄膜等等。基體可以為軟質或硬質材料，包括金屬、合金、半導體、玻璃、礦物和有機材料等。
技術特點：
整個系統的標定可以由用戶獨立完成。同時，基于系統穩定性，可以確保用戶對他們的測試結果非常自信。
用戶可以快速、便捷的在不同測試模塊間進行切換，這保證了系統在時間上的*利用率。
軟件系統提供了大量的可選參數，讓用戶可以大限度的靈活設定實驗設計。
750℃的高溫測量
在高達750℃的高溫環境中進行真正的深度感測的納米壓痕測試。
同時加熱壓頭和樣品，確保壓痕測試過程中壓頭和樣品是等溫接觸，無熱傳導。
液體測量池
模擬活體或其他潤滑/液體服役環境中的測量。液體可以加熱到人體溫度。
加載-部分卸載技術
在幾分鐘內生成硬度、模量隨深度變化的曲線。這一測量技術是壓痕測試模塊中的標準配置。
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