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ICP原子發射光譜儀可對約70種元素（金屬元素及磷、硅、砷、碳、硼等非金屬元素）進行定性定量分析。
ICP原子發射光譜儀的特點：
(1)可多元素同時檢測各元素同時發射各自的特征光譜；
(2)分析速度快試樣不需處理，同時對幾十種元素進行定量分析(光電直讀儀)；
(3)選擇性高各元素具有不同的特征光譜；
(4)檢出限較低10～0.1μg⋅g-1(一般光源)；ng⋅g-1(ICP）
(5)準確度較高5%～10%(一般光源）；<1%(ICP)；
(6)ICP-AES性能*線性范圍4～6數量級，可測高、中、低不同含量試樣。
ICP原子發射光譜儀在選擇光源的時候應盡可能滿足以下要求：
1)光源具備良好的穩定性，保證試樣能夠穩定地蒸發、原子化和激發；
2)方法檢出限低，能夠檢測微量和痕量組分；
3)儀器靈敏度高，即使樣品中待測元素濃度的微小變化，也會導致檢測器檢出信號有較大的變化；
4)自吸收效應小，校準曲線的線性范圍寬；儀器信噪比高，激發盡可能多的待測元素原子，使分析線的譜線強度與背景強度的比值盡可能大；
5)分析速度快；勸結構簡單，操作安全簡便。
目前原子發射光譜儀常用的光源有以下兩種：一類是經典光源（電弧及火花），另一類是等離子體及輝光放電光源，其中以電感耦合等離子體光源（ICP)居多，也較為成熟，因此ICP-AES在不同的領域中得到廣泛的應用。
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