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掃描電子顯微鏡(簡(jiǎn)稱掃描電鏡)是一種大型精密儀器，主要結(jié)構(gòu)包括電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)收集、圖像顯示和記錄系統(tǒng)、真空系統(tǒng)，是機(jī)械學(xué)、光學(xué)、電子學(xué)、熱學(xué)、材料學(xué)、真空技術(shù)等多門學(xué)科的綜合應(yīng)用。
掃描電鏡是一種新型的電子光學(xué)儀器，主要是利用二次電子信號(hào)成像來(lái)觀察樣品的表面形態(tài)，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過(guò)電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng)，其中主要是樣品的二次電子發(fā)射。二次電子能夠產(chǎn)生樣品表面放大的形貌像，這個(gè)像是在樣品被掃描時(shí)按時(shí)序建立起來(lái)的，即使用逐點(diǎn)成像的方法獲得放大像。
掃描電鏡分類方法：
1、按照電子槍種類分：鎢絲槍、六硼化鑭、場(chǎng)發(fā)射電子槍(冷場(chǎng)發(fā)射、熱場(chǎng)發(fā)射);
2、按照樣品室的真空度分：高真空模式、低真空模式、環(huán)境模式(冷熱高壓低壓等等);
3、按照真空泵分：油擴(kuò)散泵、分子泵;
4、按照自動(dòng)化程度分：自動(dòng)、手動(dòng);
5、按照操作方式分：旋鈕操作、鼠標(biāo)操作;
6、按照電器控制系統(tǒng)分：模擬控制、數(shù)字控制;
7、按照?qǐng)D像顯示系統(tǒng)分：模擬顯像、數(shù)字顯像。
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