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表面輪廓儀能對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析，一句話概括就是測量超光滑表面（納米級別）微觀形貌。
表面輪廓儀的幾大典型運用：
1.3C領域：測量藍寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度。
2.LED行業：測量藍寶石、碳化硅襯底表面粗糙度。
3.光纖通信行業：測量光纖端面缺陷和粗糙度。
4.集成電路行業：測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度。
5.EMES行業：測量臺階高度和表面粗糙度。
表面輪廓儀的保養維護：
1.每天開機前及測量完畢后用高織紗棉布沾*清潔工裝表面、測針、軌道。
2.平時不使用時將所有電源關閉，且將測針的保護套上。
3.嚴禁用掃帚清掃地面，以免灰塵揚起。
4.對儀器進行全面的維護和精度調整。
表面輪廓儀測量前先開啟電腦、打開機器電源開關、檢查機器啟動是否正常；擦凈工件被測表面。將測針正確、平穩、可靠地移動在工件被測表面上。工件固定確認工件不會出現松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現。然后在儀器上設置所需的測量條件。再開始測量，測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產生。測量完畢根據圖紙對結果進行分析，標出結果并保存、打印。
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