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PBS-510xx-C1型薄膜真空計屬于高精度計量器具，應定期計量檢定。用于檢定的標準器其精度應高于被檢定儀器的一個精度等級以上。使用中若需調校零點，必須要有較高真空度的真空源。建議平時盡量不要隨便自行調校，可送（具有該項目CNAS檢定資質的）當地行政計量技術機構檢定調校和校準。建議的計量檢定周期為一年。
一般根據測量電容的不同方法，儀器結構有偏位法和零位法兩種。零位法是一種補償法，具有較高的測量精度。目前在計量部門作為低真空副標準真空計的就是采用零位法結構。
薄膜電容又稱CBB電容，它有聚丙烯膜和聚酯膜兩種介質分類，聚丙烯膜的特性是高頻損耗極低、電容量穩定性很高、負溫度系數較小、絕緣電阻*、介質吸收系數極低、自愈性好、介電強度等。電容薄膜真空計是一種絕壓、全壓測量的真空計，原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產生膜片間距離的變化，即產生了電容的變化，再通過鑒頻器把電容變化轉換成為電流或電壓的變化，組成為輸出信號，所以它的測量是直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關，與氣體成分無關，即：薄膜真空計是一種直接測量式的、全壓型的真空計。
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