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MC方案|如何快速無損測量多層鈣鈦礦薄膜厚度?

來源:邁可諾技術有限公司   2020年11月13日 14:18  

鈣鈦礦廣泛用于太陽能電池的開發。由于這些類型的太陽能電池具有良好的光伏性能,因此對它們進行了系統的研究。鈣鈦礦薄膜的厚度和形態是影響太陽能電池性能的重要因素。人們發現,特別當鈣鈦礦的厚度小于400nm時,鈣鈦礦太陽能電池的效率很大程度上取決于薄膜厚度;而當鈣鈦礦的厚度大于400nm時,效率則很大程度上取決于鈣鈦礦層的薄膜形態。在本篇方案說明中,我們使用FR-pRo VIS/NIR測量鈣鈦礦薄膜的厚度。

 FR-pRo VIS/NIR

測量方法:用于表征的樣品是兩種不同厚度的CH3NH3PbBr3鈣鈦礦薄膜,它們位于標準ITO/SiO2/Soda-lime基底上,如圖1所示。使用ThetaMetrisis FR-pRo VIS/NIR進行反射測量,在350-1020nm的光譜范圍內操作。

 結果:兩種樣品的典型獲得的反射光譜(黑線)和擬合的反射光譜(紅線),如FR監控軟件所示,分別在圖2a 和 圖2b中所示。兩種測量方法的擬合在500-750nm光譜范圍內進行,樣品1中鈣鈦礦薄膜的厚度在516.9nm處測量,而樣品2中的厚度在394.4nm處測量。

 圖2a:樣品1的實驗和擬合反射光譜,在515nm處測得的厚度。

圖2b:樣品2的實驗和擬合反射光譜,在392nm處測得的厚度。

 

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