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能測RoHS指令的儀器很多，而且這些儀器無論是國產的還是進口的，都是屬貴重儀器。如何選擇不光是費用問題，更主要的使用問題。
對六種有害物質總量的定量檢測：
一、 按日本商會歐盟分部的“依照RoHS指令的檢測方法”。
該方法建議對來料先便攜式(手持式)ROHS檢測儀檢測，能通過的就算合格，遇到不合格的就算不合格品。對灰色區域的，需要終判斷，要用臺式儀器。
對于不同材料，使用的臺式儀器各不相同.
二、 臺式X射線熒光光譜儀的選擇。
早期的臺式熒光光譜儀使用液氮(LN)致冷探測器Si(Li)LN，每次使用要消耗液氮，也不方便。電致冷硅漂探測器SiPIN出現后，就成為側RoHS光譜儀探測器的主流。液氮致冷靈敏度較容易達到要求，成本比電致冷的稍微低點，所以現在個別品牌還有液氮的。但現有的電致型都能達到RoHS要求，且有的品牌用Si(Li)PCD電致冷探測器幾乎達到的ppb級水平。實際上，在有RoHS之前早就有X射線熒光光譜儀，測RoHS的要求相對來說要求并不太高，所以就派上用場了。
ROHS檢測儀和X射線熒光光譜儀對測輕元素的靈敏度都不理想(所以美國NITON便攜式熒光光譜儀不能測鋁等輕元素)。出現了SDD電致冷探測器，提高了對輕金屬元素的靈敏度，還能測硅等非金屬元素，但價格相對來說又貴了許多。
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