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氮氣是實驗室中常用的氣體之一，過去，由于技術落后，沒有質譜氮氣發生器，實驗室經常使用高壓氮氣瓶或液氮罐供氣，這種方法有很多缺點，包括：
1、空氣交換頻繁，氮氣瓶運輸和更換麻煩；
2、在實際實驗操作中，清除工作量很大，這會增加成本；
3、高壓容器，有一定的危險性，需要放置在保護氣柜中；
4、如果液氮泄漏，則液氮直接接觸大氣，并且大氣中的環境溫度遠遠高于氮的沸點，導致液氮立即蒸發成大氣氮。體積擴大了數百倍。在這種環境下，泄漏的氮氣直接將空氣中的氧氣稀釋至不足1％，使泄漏附近的人窒息而死，過多的氮氣會使神經麻痹。
這就是傳統的制氮方法，如今，將質譜氮氣發生器用作供氣設備，可以有效地解決這些問題。該設備通常采用檢測光錐技術，具有PSA制氮和膜分離方法，涂覆的輔助載氣可提高檢測靈敏度并避免污染檢測池；低溫霧化和蒸發可以同時檢測半揮發性和非揮發性化合物，并且對熱不穩定化合物具有良好的靈敏度。
質譜氮氣發生器具有兩個碳分子篩塔，預處理的壓縮空氣進入并通過碳分子篩塔。碳分子篩吸附了二氧化碳，氧氣，水蒸氣和其他雜質，僅允許氮氣通過碳分子篩進入內部氮氣罐。一段時間后，碳分子篩柱被吸附飽和，系統將自動切換到第二個碳分子篩柱以繼續工作。飽和碳分子篩塔經歷快速減壓并將吸附的氧氣釋放到空氣中，從而被活化再生。交替進行兩個碳分子篩塔的吸附和純化再生過程，以連續產生清潔，干燥，高純度的氮氣。
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