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Agilent等離子體質(zhì)譜儀工作原理是根據(jù)被測元素通過一定形式進入高頻等離子體中，在高溫下電離成離子，產(chǎn)生的離子經(jīng)過離子光學透鏡聚焦后進人四極桿質(zhì)譜分析器按照荷質(zhì)比分離，既可以按照荷質(zhì)比進行半定量分析，也可以按照特定荷質(zhì)比的離子數(shù)目進行定量分析。
該類型質(zhì)譜儀主要由離子源、質(zhì)量分析器和檢測器三部分組成，還配有數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、供電控制系統(tǒng)等。
性能優(yōu)點：
（1）通過譜線的質(zhì)荷之比進行定性分析；
?。?）通過譜線全掃描測定所有元素的大致濃度范圍，即半定量分析，不需要標準溶液，多數(shù)元素測定誤差小于20%；
?。?）用標準溶液校正而進行定量分析，這是在日常分析工作中應用較為廣泛的功能；
（4）同位素比測定是ICP-MS的一個重要功能，可用于地質(zhì)學、生物學及中醫(yī)藥學研究上的追蹤來源的研究及同位素示蹤。
Agilent等離子體質(zhì)譜儀的組成及工作條件：
1、ICP-MS由ICP焰炬，接口裝置和質(zhì)譜儀三部分組成；若使其具有好的工作狀態(tài)，必須設置各部分的工作條件。
2、ICP工作條件：主要包括ICP功率，載氣、輔助氣和冷卻氣流量。樣品提升量等。ICP功率一般為1KW左右，冷卻氣流量為15L/min，輔助氣流量和載氣流量約為1L/min，調(diào)節(jié)載氣流量會影響測量靈敏度。樣品提升量為1ml/min。
3、接口裝置工作條件：ICP產(chǎn)生的離子通過接口裝置進入質(zhì)譜儀，接口裝置的主要參數(shù)是采樣深度，也即采樣錐孔與焰炬的距離，要調(diào)整兩個錐孔的距離和對中，同時要調(diào)整透鏡電壓，使離子有很好的聚焦。
4、質(zhì)譜儀工作條件：主要是設置掃描的范圍。為了減少空氣中成分的干擾，一般要避免采集N2、O2、Ar等離子。進行定量分析時，質(zhì)譜掃描要挑選沒有其它元素及氧化物干擾的質(zhì)量，同時還要有合適的倍增器電壓。
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