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X射線熒光光譜分析儀可以對各種樣品的元素組成進行定量分析，包括壓片、融珠、粉末液體、甚至是龐大的樣品。它使用一種高功率X射線管達到了檢測限低和測量時間短的效果。具有重現性好，測量速度快，靈敏度高的特點。
X射線熒光光譜分析儀物理原理
當材料暴露在短波長X光檢查，或伽馬射線，其組成原子可能發生電離，如果原子是暴露于輻射與能源大于它的電離勢，足以驅逐內層軌道的電子，然而這使原子的電子結構不穩定，在外軌道的電子會“回補”進入低軌道，以下來的洞。在“回補”的過程會釋出多余的能源，光子能量是相等兩個軌道的能量差異的。因此，物質放射出的輻射，這是原子的能量特性。廣泛應用于機械加工、鋼鐵貿易、船舶制造、工程公司、冶金等企業中。
X射線熒光光譜分析儀由激發系統、分光系統以及儀器控制和數據處理系統組成，具有的高靈敏度與寬動態范圍的特性使其成為了同等級中性能高的微型光譜儀。其高的性能可以大大提高吸光度、反射率、熒光與拉曼檢測的度。
激發系統，主要部件為X射線管，可以發出原級X射線（一次X射線），用于照射樣品激發熒光X射線；
分光系統，對來自樣品待測元素發出的特征熒光X射線進行分辨（主要為分光晶體）；探測系統，對樣品待測元素的特征熒光X射線進行強度探測；
儀器控制和數據處理系統，處理探測器信號，給出分析結果。
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