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長時間使用反滲透超純水系統時，需要對其進行清潔。適當的清潔可以使內部更普通，也可以提高設備的效率并使其使用壽命更長。那么，在清潔設備時我們應著重于清潔哪些部件？
1、清洗水箱：清洗水箱的尺寸必須能夠容納從軟管，管道和壓力容器中排出的水。并且清潔罐的設計應為100％排空，并易于添加和混合清潔化學品。清潔泵的出口設計有位于底部附近的再循環管，通風孔，溢流管和回流管，以確保使用表面活性劑時不容易產生泡沫。
2、清洗泵：在設計清洗泵時，應考慮提供適當的側向流速以促進膜的清洗。在反滲透超純水系統的清潔過程中，建議將高壓設為60p，以減少清潔過程中的產水量，并減少污染物重新沉積在膜表面的可能性。
3、清潔用安全過濾器：通常使用孔徑為5到10微米的過濾器除去清潔中的污垢。
4、清潔箱加熱器或冷卻器：更好的清潔溫度是35至45°C。應當注意，RO清洗泵在再循環期間會產生熱量。
5、清洗槽混合器：盡管一些設計人員僅考慮使用RO清洗泵循環并緩慢將藥物添加到藥物溶液中的方法，但我們仍然建議使用混合器使藥物溶液更均勻。
6、儀器：清潔系統的儀器應包括流量計，溫度表，壓力表和清潔箱液位計。
7、采樣點：應在清潔泵的出口和循環水回流管的濃縮水側安裝一個采樣閥，以便可以測量PH值和TDS值。
8、出水側的回水管：在反滲透超純水系統的清洗過程中，少量清洗液可能會滲入膜元件，因此建議在回水上安裝回水管側。
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