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在真空泵中真空泵油不僅作為獲得真空的介質，而且還對機械摩擦點起潤滑，冷卻和密封作用。
1、極低的蒸汽壓這是真空泵油的重要性能，由于真空泵要求真空度達到1.33×10-4Pa(10-6mmHg)，高的要求達到1.33×10-4Pa(10-6mmHg)以下，因此要求真空泵油的蒸發性極低.一般要用石蠟基窄餾分潤滑油，對于擴散真空泵，還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。
2、合適的粘度良好的粘溫特性真空系統利用泵腔內容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應具有合適的粘度和良好的粘溫特性。
3、良好的熱氧化安定性真空泵不斷向高速度發展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，因此使油的熱和氧化作用加劇。而擴散泵往往處于很高的環境溫度下工作，使系統內蒸氣壓升高，真空度降低，因此要求真空泵油有良好的熱氧化安定性。
4、良好的抗腐蝕性與抗乳化性。真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會腐蝕泵內金屬零件與油發生化學變化。另外，吸入空氣中往往含有水汽，引起真空泵油的乳化，故要求有良好的抗腐蝕性與抗乳化性。在真空脫水工藝使用的真空泵油的乳化更為突出。
5、較高的閃點要求真空泵中不攜帶輕質組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。
6、較低的極限壓力極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標以了解在低真空極限壓力下真空泵的極限壓力。
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