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氮氣發生器以空氣為原料，以碳分子篩作為吸附劑，運用變壓吸附原理，利用碳分子篩對氧和氮的選擇性吸附而使氮和氧分離的方法，通稱PSA制氮。此法是七十年代迅速發展起來的一種新的制氮技術。氮氣發生器與傳統制氮法相比，它具有工藝流程簡單、自動化程度高、產氣快(15～30分鐘)、能耗低，產品純度可在較大范圍內根據用戶需要進行調節，操作維護方便、運行成本較低、裝置適應性較強等特點。
氮氣發生器根據原理可分為有電化學、變壓吸附和膜分離三種，其中變壓吸附原理可以達到（可以達到而非一定是）99.995%以上的純度。
布魯克EVOQ-TQ液質聯用儀氮氣發生器就是采用的膜分離技術依靠不同氣體在膜中溶解和擴散系數的差異而具有不同的滲透速度來實現氣體的分離。當混合氣體在驅動力一膜兩側壓力差作用下，滲透速度相當快的氣體如氧氣、氫氣、氦氣、硫化氫、二氧化碳等透過膜后，在膜的滲透側被富集，而滲透速度相當慢的氣體如氮氣、氬氣、甲烷和一氧化碳等唄滯留在膜的滯留側被富集從而達到混合氣體分離的目的。膜分離制氮機就是根據以上原理。以壓縮空氣為原料氣來提取較高純度的氮氣。
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