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厭氧反應器的發展已經歷了三個時代:
一代反應器:以厭氧消化池為代表，廢水與厭氧污泥*混合，屬低負荷系統。
第二代反應器:可以將固體停留時間和水力停留時間分離，能保持大量的活性污泥和足夠長的污泥齡，并注重培養顆粒污泥，屬高負荷系。
第三代反應器:在將固體停留時間和水力停留時間相分離的前提下，使固、液兩相充分接觸，從而既能保持大量污泥又能使廢水和活性污泥之間充分混合、接觸，以達到真正高效的目的。
雖然第二代厭氧生物反應器在應用中取得了很大的成功，但為了解決UASB在運行中出現的短流、死角和堵塞等一些問題，進一步增強厭氧微生物與廢水的混合與接觸，提高負荷及處理效率，擴大適用范圍，人們在其基礎上繼續研究和開發了第三代反應器.
主要有EGSB厭氧反應器、厭氧內循環反應器(簡稱IC)、厭氧折板式反應器(簡稱ABR)、厭氧序列式反應器(簡稱ASBR)、厭氧膜生物系統(簡稱AMBS)等，目前生產實踐中應用較少。
進入20世紀90年代以后，隨著以顆粒污泥為主要特點的UASB反應器的廣泛應用，在其基礎上又發展起來了同樣以顆粒污泥為根本的顆粒污泥，EGSB厭氧反應器和厭氧內循環(IC)反應器。
其中EGSB厭氧反應器利用外加的出水循環可以使反應器內部形成很高的上升流速，提高反應器內的基質與微生物之間的接觸和反應，可以在較低溫度下處理較低濃度的有機廢水，如城市廢水等;
而IC反應器則主要應用于處理高濃度有機廢水，依靠厭氧生物過程本身所產生的大量沼氣形成內部混合液的充分循環與混合，可以達到更高的有機負荷。這些反應器又被統一稱為“第三代厭氧生物反應器”。
IC反應器和egsb反應器的相同點和不同點，各自的適用范圍
UASB厭氧反應器種屬于流化床式反應器，同類反應器有IC反應器、EGSB反應器、CSTR反應器、折流板厭氧反應器等等。
UASB早出現于上世紀七十代，屬于較早期厭氧處理工藝，發展相比較成熟，應用比較廣泛。隨著使用暴露問題越來越多，比如培養性顆粒污泥比較困難、容易跑泥、三相離器設計要求比較高等等。
由UASB衍生出來的IC/EGSB等反應器則優化了這些問題逐步取代UASB反應器，成為目前新建改造項目主要厭氧處理工藝。
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