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賽默飛同位素質譜儀指的是一種對硫、氮、氧、氫以及碳等穩定性同位素比值進行測定的質譜儀器。在對輕元素的穩定性同位素進行分析時，都是通過體形式進行質譜測定，所以，開始需要把待分析的樣品轉變成氣體。帶正電荷的離子由氣體分子在離子源中被電離所形成，并且在電場和磁場的作用下根據們的質荷比分開離子，之后穩定性同位素比值按照不同離子束流的強度來進行測定。雙路測量或者單路測量的方式均能夠為穩定性同位素質譜測定所采用。
若采用雙路測量，那么樣品氣體一定要和工作標準氣體進行交替比較測量，使氣體樣品相對于標準氣體的某種同位素的豐度比得出，并且用3來表示。
應用：
對于土壤圈中含碳、氮、氧、氫和硫元素的物質循環，以及它們對生態環境影響的研究，穩定同位素質譜儀得到了非常廣泛地應用。
賽默飛同位素質譜儀的主要特點：
1、同位素質譜儀有著非常緊湊的結構，十分堅固且耐用；
2、在線性和穩定性加以保證的同時，對好的靈敏度加以展示；
3、擴展性相當的好，同位素質譜儀能夠聯用各種外圍設備，使高性能以及高度自動化得以確保。
注意事項：
盡管穩定同位素質譜有著相對比較高的分析準確度，然而因為實驗過程和儀器工作條件的改變所產生的測量誤差尤其值得留心。如下為具體的表現：
1、儀器進樣系統的混閥問題；
2、樣品制備中的相互污染；
3、測量峰的拖尾現象；
4、儀器的空白本底；
5、儀器管道中的記憶效應。
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