掃描電鏡(SEM)是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段,可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。主要用于各種材料的微觀分析和成分分析,已經成為材料科學、生命科學和各生產部門質量控制中*的工具之一。
掃描電鏡的結構包括電子光學系統、圖像顯示和記錄系統、真空系統、X射線能譜分析系統。
掃描電鏡的原理介紹:
掃描電子顯微鏡是一種利用高能聚焦電子束掃描樣品表面,從而獲得樣品信息的電子顯微鏡。所以其使用電子束為照明源,電子束在樣品表面掃描,利用電子和物質作用所產生的信息結合電子光學原理進行成像。判斷掃描電鏡性能主要依據分辨率和有效放大倍數。分辨率即能夠分辨的小距離。
通常采用阿貝公式定義分辨率,公式(單位為nm)為:
式(1)中:R 為分辨率;λ為波長;n 為折射率;α為孔徑半徑。
有效放大倍數定義為:
式(2)中:Rp 為人眼能夠區分的小距離,Rm 為機器能夠分辨的小距離,比如人眼可以區分0.2 mm,機器可以區分1 nm,那么這臺儀器有效放大倍數是20 萬倍。針對不同的有效放大倍數,掃描范圍也會有所區別。
免責聲明
- 凡本網注明“來源:化工儀器網”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明“來源:化工儀器網”。違反上述聲明者,本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源(非化工儀器網)的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時,必須保留本網注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題,請在作品發表之日起一周內與本網聯系,否則視為放棄相關權利。