電暈放電法臭氧發生器的原理

   電暈放電合成臭氧是目前上使用多的臭氧制備技術，該技術能構使臭氧產率達到每千克500毫克以上。電暈放電法(無聲放電或輝光發電)是指將干燥含氧氣體通過電暈放電區域以產生臭氧的方法。通常使用的原料氣有：氧氣、空氣和含有氮、二氧化碳的含氧混合氣，也許還有其他一些惰性稀釋氣體。產生臭氧的機理是：用高速電子對氧氣進行轟擊，使之分解為氧原子。

    高速度的電子擁有足夠的動能(6~7eV)，隨后會與三體碰撞反應生成臭氧。另外，電暈內的氣體處于高溫條件下，會促進臭氧分解反應，因此凈臭氧產生或出口氣體組成就是形成和分解臭氧所有反應的總和。度的變化取決于許多因素，包括：原料氣體的氧氣含量和溫度，它含有的污染物，達到的臭氧濃度，電暈中的功率密度，冷卻水的溫度和流量以及冷卻系統的效率。這都對實際的、經濟的臭氧發生器和系統的設計產生了影響。