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真空羅茨泵是一種無內壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級泵。靠泵腔內一對葉形轉子同步、反向旋轉的推壓作用來移動氣體而實現抽氣的真空泵。羅茨真空泵是指具有一對同步高速旋轉的鞋底形轉子的機械真空泵，此泵不可以單獨抽氣，前級需配油封、水環等可直排大氣。
真空羅茨泵的性能特點：
它的特點是：啟動快，耗功少，運轉維護費用低，抽速大、效率高，對被抽氣體中所含的少量水蒸汽和灰塵不敏感，在100～1帕壓力范圍內有較大抽氣速率，能迅速排除突然放出的氣體。這個壓力范圍恰好處于油封式機械真空泵與擴散泵之間。因此，它常被串聯在擴散泵與油封式機械真空泵之間，用來提高中間壓力范圍的抽氣量。這時它又稱為機械增壓泵。
真空羅茨泵的維護保養：
（一）定期檢查：
1．每日檢查：
（1）油位檢查：油位過多，使溫度升高，油位過低，造成潤滑不良。
（2）溫度檢查：用溫度計檢查各部位溫度。
（3）電動機負荷檢查：用功率表或電流、電壓表測量電動機負荷。
2．每月檢查：聯軸器彈性體或三角膠帶的張力.
3．每季檢查；齒輪箱內潤滑油是否變質。
4．每半年檢查：
（1）前蓋軸承箱內潤滑油是否變質。
（2）密封是否損壞。
5．每一年檢查：
（1）軸承是否磨損。
（2）活塞環及活塞環襯套是否磨損。
（3）齒輪微量程度的磨損對轉子正常工作是否產生影響，是否需要調整。
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